PENGARUH KECEPATAN PUTAR DEPOSISI TERHADAP STRUKTUR KRISTAL, KETEBALAN DAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS TIMBAL ZIRKONAT TITANAT (PZT) DENGAN METODE SPIN COATER

Abstract

Telah dilakukan penelitian pengaruh kecepatan putar terhadap struktur kristal, morfologi, ketebalan dan ukuran butir lapisan tipis PZT. Teknik pelapisan PZT dilakukan dengan spin coating dengan variasi kecepatan putar 2000, 3000 dan 4000 rpm. Kualitas kristal lapisan tipis PZT yang dihasilkan dikarakterisasi dengan XRD dan morfologi serta tampang lintang diobservasi dengan pencitraan SEM. Hasil karakterisasi menunjukkan puncak-puncak yang muncul adalah kristal perovskit dengan orientasi bidang kristal (001), (100), (101), (110), (200), (201) & (210), dan (022). Semakin tinggi kecepatan putar makaketebalanlapisan PZT semakin tipis dan berpengaruh terhadap intensitas orientasi bidang kristal yang semakin menurun, serta morfologi permukaan semakin halus, rata dan homogen. Ketebalan pada kecepatan putar 2000, 3000 dan 4000 rpm berturut-turut 13,82; 12,66 dan 10,84 μm serta ukuran butir untuk masing-masing kecepatan putar sekitar 0,6429; 0,6851 dan 0,4237 μm. Hal ini dikarenakan semakin tinggi kecepatan putar mengakibatkan gaya sentrifugal semakin besar sehingga gel PZT terdistribusi secara merata dan homogen di atas permukaan substrat.